1.硅等硬脆材料的车削加工是一个世界难题,这是由于它的材料特性决定的,不同于铝、铜等材料有塑性变形。传统的做法是磨削,但是磨削效率太低。
2.硅的超精密车削,达到表面粗糙度10nm,首先需要超精密车床,一般以欧美的Moore、Precitech 为主。
3.有了单点金刚石超精密车床,还得配备辅助车削设备,如德国son-x公司的超声波车削系统,以达到减少减小切削力的目的,直接用车床加工是不可行的。
4.金刚石刀具的选用至关重要,一般选用英国contour的金刚石刀具,刀具要求负前角很大。
5.工艺参数的制定,工艺参数只能通过大量的试验来得出,国内有很多人做这方面的研究,但是工艺参数和效果都是严格保密的。
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